WTi
Pite
Pite se youn nan endikatè pèfòmans prensipal yo nan materyèl la sib, paske pite a nan materyèl la sib gen yon gwo enfliyans sou pèfòmans nan fim nan. Sepandan, nan aplikasyon pratik, kondisyon yo pite pou materyèl sib yo tou diferan. Pou egzanp, ak devlopman rapid nan endistri a mikwo-elektwonik, gwosè a nan gauf Silisyòm te grandi soti nan 6 ", 8" a 12 ", pandan y ap lajè a fil elektrik te redwi soti nan 0.5um nan 0 .25um, 0.18um oswa menm 0.13um Pite sib anvan an te 99.995% Li ka satisfè kondisyon pwosesis 0.35umIC, men pite sib ki nesesè pou prepare {. {15}}.18um liy se 99.999% oswa menm 99.9999%.
Tungstène Sputtering Sib Founisè
Kontni enpurte
Enpurte nan solid sib la ak oksijèn ak vapè dlo nan porositë yo se sous prensipal polisyon pou fim depoze yo. Materyèl sib pou itilizasyon diferan yo gen tou kondisyon diferan pou diferan kontni enpurte. Pou egzanp, pi bon kalite aliminyòm ak sib alyaj aliminyòm yo itilize nan endistri semi-conducteurs gen kondisyon espesyal pou kontni metal alkali ak kontni eleman radyo-aktif.
Dansite
Yo nan lòd yo diminye porositë yo nan materyèl la sib solid ak amelyore pèfòmans nan fim nan sputtered, materyèl la sib anjeneral oblije gen yon dansite ki pi wo. Dansite sib la pa sèlman afekte to sputtering, men tou, afekte pwopriyete elektrik ak optik fim nan. Pi wo dansite sib la, se pi bon pèfòmans fim nan. Anplis de sa, ogmante dansite ak fòs nan materyèl la sib pèmèt materyèl la sib pi byen kenbe tèt ak estrès la tèmik pandan pwosesis la sputtering. Dansite se tou youn nan endikatè pèfòmans kle nan materyèl sib yo.
Tengstèn Sputtering sib fabrikasyon
Gwosè grenn ak distribisyon gwosè grenn
Anjeneral materyèl sib la gen yon estrikti polikristalin, ak gwosè grenn lan ka varye ant mikron ak milimèt. Pou menm materyèl sib la, pousantaj sputtering yon sib ki gen grenn amann se pi vit pase sa yo ki nan yon sib ki gen grenn koryas; pandan ke yon sib ki gen yon pi piti diferans gwosè grenn (distribisyon inifòm) pral gen yon distribisyon epesè pi inifòm nan fim nan depoze pa sputtering.
